本发明提供了一种光波导探测器,包括沿第一方向堆叠的硅衬底层、波导层、纳米氧化锌空心柱层和电极层,波导层位于硅衬底层和纳米氧化锌空心柱层之间,纳米氧化锌空心柱层位于波导层和电极层之间,波导层包括硅波导层和锗波导层,锗波导层位于硅波导层和纳米氧化锌空心柱层之间;纳米氧化锌空心柱层 为纳米氧化锌柱阵列,纳米氧化锌空心柱层包括第一金属过孔,第一金属过孔连接第一锗高掺杂区与电极层;硅波导层包括沿第二方向排列的P型硅高掺杂区、P型硅轻掺杂区、N型硅轻掺杂区和N型硅高掺杂区,第二方向垂直于第一方向。本发明光波导探测器的光生载流子产生量高、光生载流子在电场中的传输速率相对较高和光波导探测器的带宽相对较高。
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